Quy hoạch tổng thể của Khu công nghệ cao Hoà Lạc có tổng diện tích 1.586ha, sẽ được xây dựng thành 10 khu chức năng gồm: Phần mềm, nghiên cứu triển khai, công nghiệp và công nghệ cao, giáo dục và đào tạo, trung tâm, dịch vụ tổng hợp, nhà ở kết hợp văn phòng, chung cư, tiện ích, giải trí và thể dục thể thao.
 
Còn lại là các diện tích dành cho giao thông, hồ và vùng đệm, cây xanh. Khu Hoà Lạc sẽ được xây dựng hệ thống đường bộ, đường sắt và đường thuỷ. Về quy mô dân số, dự báo đến năm 2015 có khoảng 143.508 người và đến năm 2020 có 229 nghìn người, trong đó dân số thường trú là 99.300 người. Đến nay, Ban quản lý Khu công nghệ cao Hoà Lạc đã cấp giấy chứng nhận đầu tư cho 28 dự án với tổng số vốn đầu tư đăng ký 587 triệu USD.